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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2013    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文 电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104 于长淞; 齐克奇; 张春雷; 向阳 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2014/03/07 剪切干涉  光栅移相  压电陶瓷  有限元   数字横向剪切干涉仪相移技术 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2244-2251 何煦; 向阳 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2014/03/07 光学测量  波像差  相移式干涉仪  剪切干涉仪  柔性铰链   相移点衍射干涉仪深亚纳米精度参考波前研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2013 卢增雄 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2013/08/26