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Growing method for silicon carbide layer 专利
专利号: JP1987018708A, 申请日期: 1987-01-27, 公开日期: 1987-01-27
作者:  TOKI MASAHIKO;  FURUMURA YUJI;  MIENO FUMITAKE;  NAKAZAWA TSUTOMU;  ITO KIKUO
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