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水平式MOCVD反应器分隔进口对化学反应路径和生长均匀性的影响研究 期刊论文
材料导报, 2015, 期号: S1, 页码: 102-105
作者:  师珺草[1];  徐楠[2];  左然[3];  赖晓慧[4]
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