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压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2020/08/24
大视场纳型星敏光学系统公差灵敏度研究 期刊论文
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 05, 页码: 77-88
作者:  张坤;  钟兴;  孟遥;  刘江
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2020/08/24
一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 05, 页码: 1147-1154
作者:  张海东;  王孝坤;  薛栋林;  张学军
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2020/08/24
结合划线拟合和深度学习的数字全息显微相位像差自动补偿方法 期刊论文
光子学报, 2018, 卷号: 47, 页码: 158-167
作者:  肖文;  杨璐;  潘锋;  曹闰禹;  姚田
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/30
基于矢量像差理论的离轴反射系统失调校正研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  张晓彬
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2019/09/23
飞秒激光微加工质量优化的若干问题研究 学位论文
: 上海大学, 2017
作者:  潘雪涛[1]
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2019/04/25
光学自由曲面面形检测技术 期刊论文
中国光学, 2017, 卷号: 第10卷, 页码: 283-299
作者:  杨甬英;  刘东;  俞本立;  张磊;  李劲松
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2019/04/17
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  巩岩;  姚长呈
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2017/09/17
折反射式零位补偿检验(续) 期刊论文
光子学报, 2016, 期号: 12, 页码: 96-99
作者:  张珑;  胡文琦;  郑列华;  郝沛明
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2018/11/20
失调同轴三反消像散系统消彗差补偿 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 201-209
作者:  徐少雄;  陈长征;  张星祥;  任建岳
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2016/07/06


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