光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性

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	光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性
	巩岩; 姚长呈
刊名	光学学报
	2016-04-10
期号	4 页码:261-268
关键词	光学设计主动光学光刻物镜热像差补偿像散
英文摘要	高精度光刻投影物镜在工作过程中吸收激光能量产生热像差,在离轴照明模式(如偶极照明)下,热像散显著且随时间变化,传统的被动光学方法无法补偿此类像差。提出在折射式光刻投影物镜系统中使用主动光学的方法,通过力促动器作用在透镜上使镜片变形以补偿初阶热像散。采用有限元分析方法,分析了简化的折射平板在促动力作用下的变形特点和像差特性;用几何光学理论近似论证了该补偿方案的可行性,并且分析了促动器分布、促动力大小、促动器与平板接触区域尺寸以及支撑结构对平板变形的影响。结果表明,在优化的支撑结构下,主动平板可以较好地补偿系统初阶热像散和初阶四叶像差,为光刻系统热像差的补偿提供了一个思路。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57936]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	巩岩,姚长呈. 光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性[J]. 光学学报,2016(4):261-268.
APA	巩岩,&姚长呈.(2016).光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性.光学学报(4),261-268.
MLA	巩岩,et al."光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性".光学学报 .4(2016):261-268.