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科研机构
半导体研究所 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
1995 [1]
1992 [1]
1991 [1]
学科主题
半导体材料 [3]
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学科主题:半导体材料
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High quality CeO2 film grown on Si(111) substrate by using low energy dual ion beam deposition technology
期刊论文
applied physics letters, 1995, 卷号: 67, 期号: 25, 页码: 3724-3725
Huang DD
;
Qin FG
;
Yao ZY
;
Ren ZZ
;
Lin LY
;
Gao WB
;
Ren QY
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2010/11/17
EPITAXY
LAYERS
SYSTEM
STUDY ON PREPARATION OF GAN AND COSI2 EPITAXIAL-FILMS BY MASS ANALYZED LOW-ENERGY DUAL ION-BEAM EPITAXY
期刊论文
vacuum, 1992, 卷号: 43, 期号: 11, 页码: 1059-1060
YAO ZY
;
QIN FG
;
REN ZZ
;
WANG XM
;
LIU ZK
;
HUANG DD
;
LIN LY
;
LAU WM
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
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提交时间:2010/11/15
DEPOSITION
SYSTEM
GROWTH
C+
DIRECT ION-BEAM DEPOSITION OF CARBON-FILMS ON SILICON IN THE ION ENERGY-RANGE OF 15-500 EV
期刊论文
journal of applied physics, 1991, 卷号: 70, 期号: 10, 页码: 5623-5627
LAU WM
;
BELLO I
;
FENG X
;
HUANG LJ
;
QIN FG
;
YAO ZY
;
REN ZZ
;
LEE ST
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2010/11/15
DIAMOND-LIKE FILMS
IONIZED DEPOSITION
REACTIVE IONS
THIN-FILMS
GROWTH
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