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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 A bulk micromachined Si-on-glass Tunneling accelerometer with out-of-plane sensing capability 其他 2007-01-01 Miao, Min; Hu, Qifang; Hao, Yilong; Dong, Haifeng; Wang, Ling; Shi, Yunbo; Shen, Sanmin 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/10 tunneling accelerometer  bulk micromachining  microelectromechanical system (MEMS)  nanoelectromechanical system (NEMS)  inertial technology  high resolution  inductively coupled plasma  PRECISION   A bulk micromachined Si-on-glass tunneling accelerometer 其他 2007-01-01 Miao, Min; Hu, Qifang; Hao, Yilong; Dong, Haifeng; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 A novel out-of-plane MEMS tunneling accelerometer with excellent low frequency resolution 其他 2006-01-01 Dong, Haifeng; Hao, Yilong; Shen, Samnin; He, Lin; Lei, Jungang 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/16 MEMS  tunneling accelerometer  ICP   The use of second order system equation in the Micro Electro Mechanical System (MEMS) education 其他 2004-01-01 Dong, Haifeng; Zhang, Haixia; Hao, Yilong 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 System Analysis and Design of a Micromachined Tunneling Accelerometer 其他 2003-01-01 Haifeng, Dong; Yubin, Jia; Hao, Yilong 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13