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科研机构
上海光学精密机械研... [17]
内容类型
期刊论文 [17]
发表日期
2008 [5]
2007 [3]
2006 [3]
2005 [6]
学科主题
光学薄膜 [17]
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学科主题:光学薄膜
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Investigation on properties of TiO2 thin films deposited at different oxygen pressures
期刊论文
opt. laser technol., 2008, 卷号: 40, 期号: 3, 页码: 550, 554
Shen Yanming
;
Yu Hua
;
姚建可
;
邵淑英
;
范正修
;
贺洪波
;
邵建达
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浏览/下载:1332/175
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提交时间:2009/09/22
TiO2 thin films
residual stress
electron beam evaporation
Y
2
O
3
stabilized ZrO
2
thin films deposited by electron-beam evaporation: Optical properties, structure and residual stresses
期刊论文
vacuum, 2008, 卷号: 83, 期号: 2, 页码: 366, 371
Xiao Qi-Ling
;
Xu Cheng
;
邵淑英
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:622/164
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提交时间:2009/09/22
YSZ thin films
Residual stress
Electron-beam evaporation
Refractive index
Structural properties
电子束蒸发镀膜速率控制
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 10, 页码: 1591, 1594
王善成
;
方明
;
易葵
;
邵淑英
;
范正修
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浏览/下载:872/189
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提交时间:2009/09/22
薄膜
薄膜工艺
速率控制
比列积分微分控制
Basic principles
Closed-loop controls
Control parameters
Evaporation characteristics
Film process
Improved processes
Proportion integral differential
Rate control
Rate controls
Influence of ytterbia content on residual stress and microstructure of Y2O3-ZrO2 thin films prepared by EB-PVD
期刊论文
chin. phys. lett., 2008, 卷号: 25, 期号: 9, 页码: 3433, 3435
Xiao Qi-Ling
;
邵淑英
;
贺洪波
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:644/124
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提交时间:2009/09/22
STABILIZED-ZIRCONIA TBCS
DEPOSITION
COATINGS
ZRO2
沉积温度对氧化钇稳定氧化锆薄膜残余应力的影响
期刊论文
光学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 1007, 1011
肖祁陵
;
贺洪波
;
邵淑英
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:649/121
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提交时间:2009/09/22
薄膜光学
残余应力
氧化钇稳定氧化锆薄膜
沉积温度
Deposition temperature
Residual stress
Thin film optics
Yttria-stabilized zirconia thin films
Yttrial-stabilized zirconia films
Influences of annealing on residual stress and structure of HfO2 films
期刊论文
chin. phys. lett., 2007, 卷号: 24, 期号: 10, 页码: 2963, 2966
Shen Yan-Ming
;
邵淑英
;
Deng Zhen-Xia
;
贺洪波
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:742/123
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提交时间:2009/09/22
THIN-FILMS
BEAM EVAPORATION
COATINGS
DEPOSITION
THICKNESS
Influences of oxygen partial pressure on structure and related properties of ZrO2 thin films prepared by electron beam evaporation deposition
期刊论文
appl. surf. sci., 2007, 卷号: 254, 期号: 2, 页码: 552, 556
Shen Yanming
;
邵淑英
;
Yu Hua
;
范正修
;
贺洪波
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:962/249
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提交时间:2009/09/22
ZrO2
thin films
electron beam evaporation
residual stress
oxygen partial pressure
薄膜厚度对HfO2薄膜残余应力的影响
期刊论文
稀有金属材料与工程, 2007, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 412, 415
申雁鸣
;
贺洪波
;
邵淑英
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:1091/173
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提交时间:2009/09/22
HfO2薄膜
HfO2 thin film
残余应力
residual stress
膜厚
thin film thickness
电子束蒸发
electron beam evaporation
沉积温度对电子束蒸发HfO2薄膜残余应力的影响
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 827, 831
申雁鸣
;
贺洪波
;
邵淑英
;
范正修
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浏览/下载:715/114
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提交时间:2009/09/22
薄膜
HfO2薄膜
残余应力
沉积温度
基底
电子束蒸发
不同氧分压下电子束蒸发氧化锆薄膜的特性
期刊论文
光电工程, 2006, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 37
张东平
;
邵淑英
;
黄建兵
;
占美琼
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:617/82
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提交时间:2009/09/22
氧化锆薄膜
氧分压
表面迁移率
薄膜特性
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