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| Pattern quality and defect evaluation based on cross correlation and power spectral density methods 期刊论文 J Vac Sci Technol B, 2018 作者: Zhang LB(张利斌); Ma L(马乐); Chen R(陈睿); He JF(何建芳); Su XJ(苏晓菁) 收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2019/05/05 |
| TinyVisor:An Extensible Secure Framework on Android Platforms 期刊论文 computers&security, 2018 作者: Jinxin Ma; Xiaojing Su; Zhoujun Li; Dong Shen; Robert Deng 收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2019/05/05 |
| 七级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法 专利 专利号: CN201610140991.2, 申请日期: 2017-10-24, 公开日期: 2016-05-04 作者: 韦亚一; 苏晓菁; 董立松; 张利斌 收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2018/04/24 |
| 五级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法 专利 专利号: CN201610140129.1, 申请日期: 2017-10-24, 公开日期: 2016-05-25 作者: 苏晓菁; 董立松; 张利斌; 韦亚一 收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2018/04/25 |
| Characteristic study of image-based alignment for increasing accuracy in lithography application 期刊论文 Journal of Vacuum Science & Technology B, 2017 作者: Zhang LB(张利斌); Dong LS(董立松); Su XJ(苏晓菁); Wei YY(韦亚一) 收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2018/07/09 |
| 基于ARM虚拟化扩展的安全防护技术 期刊论文 软件学报, 2017 作者: 苏晓菁; 沈东; 李舟军; 马金鑫 收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2018/06/08 |
| TinyVisor: An Extensible Secure Framework on Android Platforms 期刊论文 Computers & Security, 2017 作者: Ma JX(马金鑫); Robert Deng; Su XJ(苏晓菁); Shen D(沈东); Li ZJ(李舟军) 收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2018/07/05 |
| Optimization of the focus monitor mark in immersion lithography according to illumination type 期刊论文 J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2017 作者: Zhang LB(张利斌); Wei YY(韦亚一); He JF(何建芳); Su XJ(苏晓菁); Dong LS(董立松) 收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2018/06/08 |
| Mitigating the influence of wafer topography on the implantation process in optical lithography 期刊论文 Optics Letter, 2017 作者: Su XJ(苏晓菁); Dong LS(董立松); Chen WH(陈文辉); Fan TA(范泰安); Wei YY(韦亚一) 收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2018/06/08 |
| An off-line roughness evaluation software and its application in quantitative calculation of wiggling based on low frequency power spectrum density method 会议论文 作者: Zhao LJ(赵利俊); Zhang LB(张利斌); Dong LS(董立松); Su XJ(苏晓菁); Liu YS(刘艳松) 收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2018/07/26 |