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上海技术物理研究所 [3]
内容类型
专利 [3]
发表日期
2015 [3]
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一种用于芯片高温退火的插板式石英舟
专利
专利号: 201510145208.7, 申请日期: 2015-03-31, 公开日期: 2017-08-25
作者:
1施长治 2 林春
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提交时间:2017/12/12
一种用于高能离子注入的复合掩膜的制备方法
专利
专利号: 201510028928.5, 申请日期: 2015-01-21, 公开日期: 2017-08-15
作者:
1施长治 2 林春
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2017/12/12
一种用于高能离子注入的复合掩膜的去除方法
专利
专利号: 201510029323.8, 申请日期: 2015-01-21, 公开日期: 2017-06-27
作者:
1施长治 2 林春
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提交时间:2017/12/12
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