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一种磁控电弧离子镀复合沉积工艺和沉积装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2016-01-13, 公开日期: 2016-01-13
赵彦辉、肖金泉、于宝海、华伟刚、宫骏、孙超

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一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材及其应用 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2013-04-03, 公开日期: 2013-04-03
孙超, 常正凯, 肖金泉, 宫骏, 华伟刚 and 陈育秋

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一种用于制备非晶薄膜的电弧离子镀冷却装置及其应用 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-12-26, 公开日期: 2012-12-26
肖金泉, 常正凯, 孙超, 宫骏 and 华伟刚

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一种中频磁控溅射法制备纳米硅薄膜的方法及其专用装置 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-12-12, 公开日期: 2012-12-12
肖金泉, 高俊华, 闻立时, 张林, 石南林, 宫骏 and 孙超

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一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2012-07-11, 公开日期: 2012-07-11
孙超, 常正凯, 肖金泉, 宫骏, 华伟刚 and 陈育秋

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一种中频磁控溅射法制备纳米硅薄膜的溅射装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2012-05-30, 公开日期: 2012-05-30
肖金泉, 高俊华, 闻立时, 张林, 石南林, 宫骏 and 孙超

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一种用于飞机风蚀实验测试的送粉器装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2012-05-30, 公开日期: 2012-05-30
华伟刚, 范其香, 肖金泉, 常正凯, 宫骏 and 孙超

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一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2012-05-23, 公开日期: 2012-05-23
孙超, 常正凯, 肖金泉, 宫骏, 华伟刚 and 陈育秋

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一种用于飞机风蚀实验测试的送粉器装置和工艺 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-04, 公开日期: 2012-04-04
华伟刚, 范其香, 肖金泉, 常正凯, 宫骏 and 孙超

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一种磁场和电场增强的电弧离子镀长管内壁镀膜方法 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-02-08, 公开日期: 2012-02-08
赵彦辉, 肖金泉, 杜昊, 华伟刚, 于宝海, 宫骏 and 孙超

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