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铝诱导结晶法制备高度(111)择优取向多晶硅薄膜及成核分析 期刊论文
中国科学. 技术科学, 2010, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 1378-1382
作者:  汪宇;  黄添懋;  张汉;  杨晓丽;  施辉伟
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