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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
1986 [2]
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低能离子溅射引起表面损伤的研究
期刊论文
核技术, 1986, 期号: 07
周祖尧
;
任琮欣
;
陈国明
;
胡嘉增
;
杨洁
;
傅新定
;
邹世昌
;
朱德彰
;
曹德新
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提交时间:2012/03/29
用沟道技术研究反应离子束刻蚀所引起的晶体表面损伤
期刊论文
核技术, 1986, 期号: 03
曹德新
;
任琮欣
;
杨洁
;
周祖尧
;
周伟
;
邹世昌
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提交时间:2012/03/29
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