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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Traceable quantum sensing and metrology relied up a quantum electrical triangle principle 会议论文 作者:  Fang, Yan;  Wang, Hengliang;  Yang, Xinju;  Wei, Jinsong 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2017/12/25 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：259/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder