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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 An Effective Approach for Restraining Galvanic Corrosion of Polycrystalline Silicon by Hydrofluoric-Acid-Based Solutions 期刊论文 journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 470-475 Liu YF; Xie J; Zhang ML; Yang JL; Yang FH 收藏  |  浏览/下载：52/1  |  提交时间：2011/07/06 Galvanic corrosion  polysilicon  resistivity  titanium (Ti) redox sacrificial layer  POLYSILICON  OXIDATION