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感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:  梅书哲
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径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟 期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 977-982
左然; 张红; 刘祥林
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2010/11/23


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