题名 | 感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制 |
作者 | 梅书哲 |
答辩日期 | 2018-06-02 |
文献子类 | 博士 |
授予单位 | 中国科学院大学 |
授予地点 | 北京 |
导师 | 王晓亮 |
关键词 | Mocvd 感应加热 温度均匀性 流场温场 建模仿真 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
学科主题 | 半导体材料 ; 半导体器件 |
公开日期 | 2018-06-11 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28543] |
专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 梅书哲. 感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制[D]. 北京. 中国科学院大学. 2018. |
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