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基于四波横向剪切干涉的定量相位显微成像及应用研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2022
作者: 宋金伟

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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐

收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/08/24

近场光强分布对四波横向剪切干涉仪波前复原的影响研究 学位论文
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者: 陈小君

收藏 | 浏览/下载：158/0 | 提交时间：2018/05/23

基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 崔博川

收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23

紧凑型静态傅里叶光谱仪光学系统设计 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 李晚侠

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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超

收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23

光栅剪切干涉波前测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 李杰

收藏 | 浏览/下载：194/0 | 提交时间：2016/11/28

基于横向剪切干涉的深度非球面面形检测技术研究 学位论文
2015
作者: 刘丙才

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光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 吴飞斌

收藏 | 浏览/下载：74/0 | 提交时间：2016/11/28

相移干涉与二维横向剪切干涉技术研究与应用 学位论文
: 河南大学, 2015
作者: 杨晨晓[1]

收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/23

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