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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源 期刊论文 中国激光/Chinese Journal of Lasers, 2024, 卷号: 51, 期号: 07, 页码: 172-179 作者:  李逵;  孟润宇;  李睿晅;  张光银;  姚铭杰 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2024/05/06 激光器  高次谐波  极紫外激光  13.5 nm光源  软X射线  飞秒激光   超高精度面形干涉检测技术进展 期刊论文 光电工程, 2020, 卷号: 47, 期号: 8, 页码: 18-30 作者:  侯溪;  张帅;  胡小川;  全海洋;  吴高峰 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2021/05/11 先进光学制造  超精密光学  光学测量  面形检测  干涉检测  绝对检测   微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统 期刊论文 中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264 作者:  戴岑;  巩岩;  张昊;  李佃蒙;  薛金来 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/09/17 共焦显微  微分干涉差  标量衍射  膜层结构  缺陷探测   光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142 代晓珂; 金春水; 王丽萍; 于杰 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/04/17 光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制   点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862 代晓珂; 金春水; 于杰 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/04/17 光学检测  点衍射干涉仪  波面参考源  误差研究  公差分析   双光纤相移点衍射干涉仪装调技术 期刊论文 红外与激光工程, 2014, 期号: 1, 页码: 145-150 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2015/04/17 装调技术  双光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  光学检测   高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文 中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140 王辉; 于杰; 周烽; 王丽萍 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2013/03/11 测量  极紫外光刻  高重复性干涉仪  有限元分析  检测支撑