高复现性面形检测支撑装置研制

	高复现性面形检测支撑装置研制
	王辉 ; 于杰 ; 周烽 ; 王丽萍
刊名	中国激光
	2012-11-10
期号	11 页码:136-140
关键词	测量极紫外光刻高重复性干涉仪有限元分析检测支撑
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27516]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王辉,于杰,周烽,等. 高复现性面形检测支撑装置研制[J]. 中国激光,2012(11):136-140.
APA	王辉,于杰,周烽,&王丽萍.(2012).高复现性面形检测支撑装置研制.中国激光(11),136-140.
MLA	王辉,et al."高复现性面形检测支撑装置研制".中国激光 .11(2012):136-140.