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应变式多维力传感器结构优化设计方法研究 期刊论文
传感技术学报, 2010, 卷号: 23, 期号: 10
吴宝元; 申飞; 吴仲城
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2011/12/27
厚膜应变系数及其对厚膜力敏传感器稳定性的影响 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2006
陈建群
收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2010/04/01
具有双应变梁的硅微机械倾角传感器结构设计 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 7/8
孔德义; 张涛; 梅涛; 倪林; 孙斐; 陶永春
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2009/10/20


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