具有双应变梁的硅微机械倾角传感器结构设计

	具有双应变梁的硅微机械倾角传感器结构设计
	孔德义 ; 张涛 ; 梅涛 ; 倪林 ; 孙斐 ; 陶永春
刊名	微纳电子技术
	2003
期号	7/8
合作状况	其它
学科主题	仿生感知技术
收录类别	其他
公开日期	2009-10-20
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn/handle/334002/1043]
专题	合肥物质科学研究院_中科院合肥智能机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	孔德义,张涛,梅涛,等. 具有双应变梁的硅微机械倾角传感器结构设计[J]. 微纳电子技术,2003(7/8).
APA	孔德义,张涛,梅涛,倪林,孙斐,&陶永春.(2003).具有双应变梁的硅微机械倾角传感器结构设计.微纳电子技术(7/8).
MLA	孔德义,et al."具有双应变梁的硅微机械倾角传感器结构设计".微纳电子技术 .7/8(2003).