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| 高k材料Ta_2O_5结构与电学性质的研究 期刊论文
功能材料, 2011, 期号: 07
陈息林; 余涛; 吴雪梅; 董尧君; 诸葛兰剑
  收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2012/04/13
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| 惯性环境下的MEMS电容式谐振器偏移量分析 会议论文
2010’全国第十三届微波集成电路与移动通信学术会议, 2010
刘保庆; 董林玺; 王晓迪; 吴艳; 孙玲玲
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2012/01/18 |
| 用于纳米梁位移检测的MOS电容下压阻结构 会议论文
第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009
成海涛; 杨恒; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2012/01/18
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| 波长扩展InGaAs探测器的量子效率优化 期刊论文
半导体光电, 2008, 期号: 06
田招兵; 顾溢; 张晓钧; 张永刚
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2012/01/06
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| MEMS电容式加速度传感器单片集成接口电路研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008
赵楷
收藏 | 浏览/下载：37/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 射频微电子机械单刀双掷开关 成果
鉴定: 无, 2005
未知
收藏 | 浏览/下载：39/0 | 提交时间：2013/04/12 |
| 超紧凑型SOI基3×3 MMI波导光开关的优化设计 期刊论文
半导体光电, 2005, 期号: 04
贾晓玲; 高凡; 张峰
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 新型锁存射频微机械开关的设计与工艺研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2005
邢向龙
收藏 | 浏览/下载：61/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 基于SOI材料的偏振不敏感的阵列波导光栅 期刊论文
光电子技术, 2003, 期号: 03
万莉; 吴亚明; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 体Si和SOI上高k介质材料研究 学位论文
博士, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2003
章宁琳
收藏 | 浏览/下载：71/0 | 提交时间：2012/03/06 |
