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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于机器视觉的可变光栏的测量技术研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者:  谢红 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2017/01/06 机器视觉、测量技术、可变光栏、衍射分析、图像处理   主动自由曲面补偿光学系统像差研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者:  周超 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2016/12/30 光刻，主动光学，热像差，Zernike 多项式，自由曲面   基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术 学位论文 作者:  董冠极 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2018/12/26 光学检测  Optical Measurement  像差  Aberration  泽尼克多项式  Zernike polynomials  点衍射干涉  Point-diffraction   基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术 学位论文 作者:  王磊 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻  optical lithography  分辨率增强技术  resolution enhancement technique  光源掩模投影物镜优化  source mask projector optimization  粒子群算法  particle swarm optimization   桌面式无掩膜光刻系统的研制 学位论文 作者:  梁鑫 收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2018/12/26 桌面式光刻系统  Maskless lithography  小孔检焦系统  automatic tracking  自动跟踪系统  flatness measurement  运动平整度检测   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)