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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    发表日期：2014     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 投影物镜偏振像差对光刻成像质量的影响分析 会议论文 作者:  沈丽娜;  李思坤;  王向朝;  闫观勇 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/28 基于严格电磁场仿真的光刻机光源优化方法 会议论文 作者:  闫观勇;  王向朝;  李思坤 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28 基于偏振空间移相干涉术的轴锥镜透射波面测量方法 会议论文 作者:  袁乔;  曾爱军;  黄惠杰 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/28 全深度偏振频域光学相干层析成像技术 会议论文 作者:  陈艳;  李中梁;  王向朝;  南楠 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/28