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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Design and optimization of laminated piezoresistive microcantilever sensors 期刊论文 2010, 2010 Wang, ZY; Yue, RF; Zhang, RX; Liu, LT 收藏  |  浏览/下载：4/0 Quad-cantilever microsensors with a low-cost single-sided micro-machining technique for trace chemical vapor detection 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2010, 卷号: 87, 期号: 11, 页码: 2317-2322 Yang, YL; Chen, Y; Xu, PC; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2011/12/17 PIEZORESISTIVE READ-OUT  SENSOR  MICROCANTILEVERS  TMAH/IPA  MODEL