QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2016/06/04 谐振式压力传感器  静电激励/电容检测  阳极键合真空封装  SOI通孔引线  Au电极无掩膜制作  温度自补偿   高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院大学, 2015 罗振宇 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2015/06/05 谐振式  压力传感器  品质因数  圆片级真空封装  阳极键合  吸气剂  TGV  低应力组装  差频检测  温度补偿   谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 曹明威 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2013/06/08 MEMS气压传感器  “H”型谐振梁  差分检测  圆片级真空封装  阳极键合   基于阳极键合工艺的微型气室封装 其他 2007-01-01 焦洁; 苏娟; 郭等柱; 张耿民; 汪中 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 阳极键合 封装 微型气室 原子钟   自呼吸式硅微机械氢燃料电池的阳极流场优化 期刊论文 半导体技术, 2007, 期号: 09 郑丹; 倪卫其; 姜伟; 张熙贵; 张鲲; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅/硅键合  圆片级真空封装