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长春光学精密机械与物... [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1996 [1]
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压电微电机压电振子特性分析
期刊论文
仪器仪表学报, 1996, 期号: S1, 页码: 280-283
马建旭
;
王立鼎
;
崔天宏
;
吕琼莹
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浏览/下载:43/0
  |  
提交时间:2013/03/11
特性分析:6228
压电:5141
电振子:4032
微电机:2914
形成机理:1976
振动特性:1297
传动波:1206
行波式:1046
机压:1030
电场强度:901
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