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长春光学精密机械与物... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2000 [1]
1994 [1]
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微通道热沉标准单元制作的SEM观察
期刊论文
电子显微学报, 2000, 期号: 04, 页码: 587-588
王晓华
;
张宝顺
;
王玉霞
;
任大翠
;
张兴德
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2013/03/11
微通道结构:5798
标准单元:5527
半导体激光器:3149
SEM观察:3000
国家重点实验室:2287
高功率:2245
热沉:1741
精密机械:1309
冷却器:1010
硅微通道:926
二维激光扫描开环动态检测
期刊论文
测试技术学报, 1994, 期号: 01, 页码: 22-26
田雯
;
安志勇
收藏
  |  
浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2013/03/11
激光扫描:6899
动态检测系统:6382
步进电机驱动:2570
开环:1375
精密机械:926
闭环检测:891
几何尺寸测量:693
定位误差:626
控制系统:571
测试技术:559
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