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| 一种基于拉链梳齿的MEMS驱动器及其工作方法 专利
申请日期: 2019-05-17, 公开日期: 2019-05-17
作者: 刘兆军; 李文睿; 秦增光; 关晨; 丛振华
  收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/01/04 |
| 一种基于突出梳齿的MEMS驱动器及其工作方法 专利
申请日期: 2019-04-05, 公开日期: 2019-04-05
作者: 刘兆军; 李文睿; 秦增光; 关晨; 丛振华
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2020/01/04 |
| 一种基于静电自激振动原理的梳齿结构驱动器 专利
申请日期: 2018-01-01, 公开日期: 2018-10-09
作者: 闫晓军; 竹阳升; 刘志伟; 漆明净; 张小勇
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/12/30 |
| 基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
翟雷应
收藏 | 浏览/下载：54/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 一种基于静电排斥力的纵向微驱动器研究 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=CGJS200606077&dbname=CJFQ2006, 2012, 2012
乔大勇; 苑伟政; 马志波; 李开成; 李晓莹
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2017/06/19
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| 静电梳齿驱动结构的稳定性分析 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=CGJS201108009&dbname=CJFQ2011, 2012, 2012
张峰; 苑伟政; 常洪龙; 丁继亮; 谢建兵
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2017/06/19
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| 基于MEMS微镜的可调光学衰减器 期刊论文
光电子.激光, 2012, 期号: 12, 页码: 2287-2291
刘英明; 徐静; 钟少龙; 翟雷应; 吴亚明
收藏 | 浏览/下载：47/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 8, 页码: 1772-1781
翟雷应; 徐静; 钟少龙; 吴亚明
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器 期刊论文
光电子.激光, 2012, 期号: 9, 页码: 1635-1643
翟雷应; 徐静; 吴亚明; 刘闯; 雷洪波; 陶大勇
收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 一种高精度MEMS梳齿驱动器有限元仿真方法及实验 期刊论文
图学学报, 2012, 卷号: 33, 页码: 65-68
作者: 郭占社; 曹乐; 赵鑫; 樊尚春
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06
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