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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  张璐 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测   干涉面形绝对检测不确定度评估方法研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 作者:  全海洋 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2017/06/02 光学检测  干涉计量  绝对检测  三平板绝对检测  不确定度评估   光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院大学, 2014 张艳微 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2015/05/03 干涉检测  绝对检测  旋转法绝对检测  误差分析   基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 222-227 张艳微; 苏东奇; 隋永新; 杨怀江 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/04/17 测量  误差补偿  旋转平均法  旋转非对称面形  绝对检测   基于单次旋转的旋转非对称面形误差绝对检测技术研究 期刊论文 光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 8, 页码: 113-118 作者:  宋伟红;  伍凡;  侯溪 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/11/22 测量  绝对检测  单次旋转  旋转非对称  光学检测   基于平移旋转的球面绝对检测技术仿真分析 期刊论文 强激光与粒子束, 2011, 卷号: 23, 期号: 12, 页码: 3229-3234 作者:  宋伟红;  伍凡;  侯溪;  杨鹏 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/11/22 基于旋转法的干涉仪系统误差标定 期刊论文 光电工程, 2011, 卷号: 38, 期号: 12, 页码: 144-150 作者:  张建峰;  曹学东;  景洪伟;  吴时彬;  阴 旭 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2016/11/22