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基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:  吴越;  王丽萍;  于杰;  张旭;  金春水
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2022/06/29
基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:  吴越;  王丽萍;  于杰;  张旭;  金春水
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2022/06/13
基于矢量光场的纳米光针产生技术 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  刘立巍
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2021/06/08
压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2020/08/24
基于非均匀采样的高分辨曲面投影计算全息方法 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 048, 期号: 005, 页码: 144
作者:  蔡文涛;  李晶;  江海波;  孙秀辉;  杨若夫
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2019/12/03
数字掩模投影光刻的极限分辨率研究 期刊论文
量子电子学报, 2019, 卷号: 036, 期号: 003, 页码: 354
作者:  刘玉环;  赵圆圆;  董贤子;  郑美玲;  段宣明
收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2019/12/03
NA1.35投影光刻光学系统偏振像差的优化 期刊论文
应用光学, 2019, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 575-582
作者:  李杰[1,2];  林妩媚[1];  廖志杰[1]
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2021/05/06
自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 期刊论文
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 71-79
作者:  孙彦杰;  刘华;  李金环;  陆子凤;  张莹
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/08/24

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