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基于纳米压印光栅的二次干法刻蚀方法及外延片和激光器 专利
专利号: CN106025795B, 申请日期: 2019-09-24, 公开日期: 2019-09-24
作者:  王海丽;  赵懿昊;  张奇;  王文知;  仲莉
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基于纳米压印光栅的二次干法刻蚀方法及外延片和激光器 专利
专利号: CN106025795B, 申请日期: 2019-09-24, 公开日期: 2019-09-24
作者:  王海丽;  赵懿昊;  张奇;  王文知;  仲莉
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窄脊半导体器件的制备方法 专利
专利号: CN106785911B, 申请日期: 2019-09-24, 公开日期: 2019-09-24
作者:  杨冠卿;  梁平;  徐波;  陈涌海;  王占国
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窄脊半导体器件的制备方法 专利
专利号: CN106785911B, 申请日期: 2019-09-24, 公开日期: 2019-09-24
作者:  杨冠卿;  梁平;  徐波;  陈涌海;  王占国
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基于纳米压印光栅的两步干法刻蚀方法及外延片和激光器 专利
专利号: CN106099637B, 申请日期: 2019-09-24, 公开日期: 2019-09-24
作者:  王海丽;  赵懿昊;  张奇;  仲莉;  刘素平
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基于纳米压印光栅的两步干法刻蚀方法及外延片和激光器 专利
专利号: CN106099637B, 申请日期: 2019-09-24, 公开日期: 2019-09-24
作者:  王海丽;  赵懿昊;  张奇;  仲莉;  刘素平
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一种长波长InP基DFB半导体激光器管芯的制备方法 专利
专利号: CN107248697B, 申请日期: 2019-08-27, 公开日期: 2019-08-27
作者:  苏辉;  薛正群;  黄章挺;  吴林福生
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一种降低DBR周期数的DBR低折射率层刻蚀方法 专利
专利号: CN110165551A, 申请日期: 2019-08-23, 公开日期: 2019-08-23
作者:  尚林;  许并社;  马淑芳;  单恒升;  郝晓东
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一种改善VCSEL侧壁形貌的干法刻蚀方法 专利
专利号: CN110137804A, 申请日期: 2019-08-16, 公开日期: 2019-08-16
作者:  刘恒;  王俊;  谭少阳;  荣宇峰;  曾冠澐
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高功率红光半导体激光器光束质量控制的研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  孟雪
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