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科研机构
长春光学精密机械与物... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2019 [2]
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反射式计量圆光栅自动检测系统的设计
期刊论文
电子测量技术, 2019, 卷号: 42, 期号: 02, 页码: 63-66
作者:
张晰
;
杨建新
;
陈赟
;
张宏胜
;
韩庆阳
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提交时间:2020/08/24
反射式圆光栅
精度
均匀性误差
LabVIEW
自动检测
基于铟钢的单层膜平面反射式计量圆光栅的制作
期刊论文
传感技术学报, 2019, 卷号: 32, 期号: 10, 页码: 1447-1450
作者:
陈赟
;
高胜英
;
张晰
;
韩庆阳
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提交时间:2020/08/24
基片
铟钢
平面反射式
计量圆光栅
真空镀膜
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