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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2016 [2]
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镀膜过程真空室气氛分布研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
郑如玺
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提交时间:2016/11/28
HfO2薄膜
充氧口位置
k-ε模型
数值模拟
蒸发分布
Influence of Oxygenating Port Position on Properties of HfO_2 Films Deposited by Electron Beam Evaporation
期刊论文
中国激光, 2016, 卷号: 43, 期号: 10, 页码: 1003001
作者:
Shao JD(邵建达)
;
Zheng RX(郑如玺)
;
Yi K(易葵)
;
Fan ZX(范正修)
;
Tu FF(涂飞飞)
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提交时间:2017/12/25
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