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用在可制造性设计中的光刻规则检查 期刊论文
半导体技术, 2006, 期号: 12
陆梅君; 金晓亮; 毛智彪; 梁强
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偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应修正 期刊论文
半导体技术, 2006, 期号: 09
陆梅君; 金晓亮; 毛智彪; 梁强
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