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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2017    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance 期刊论文 Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 26 作者:  Yu, B.;  C. S. Jin;  S. Yao;  C. Li;  Y. Liu 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2018/06/13 Estimation system for dynamic errors of photoelectric encoder 期刊论文 Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 6 作者:  Zhou, Z. and H. Yu 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2018/06/13 Fabrication of large-area high-aspect-ratio periodic nanostructures on various substrates by soft X-ray interference lithography 期刊论文 Applied Surface Science, 2017, 卷号: 425 作者:  Xue, C. F.;  J. Zhao;  Y. Q. Wu;  H. N. Yu;  S. M. Yang 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2018/06/13 Effects of whispering gallery mode in microsphere super-resolution imaging 期刊论文 Applied Physics B-Lasers and Optics, 2017, 卷号: 123, 期号: 9 作者:  Zhou, S.;  Y. B. Deng;  W. C. Zhou;  M. X. Yu;  H. P. Urbach and Y. H. Wu 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/06/13