QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fast rigorous model for mask spectrum simulation and analysis of mask shadowing effects in EUV lithography 会议论文 conference on extreme ultraviolet (euv) lithography v 作者:  Liu, Xiaolei;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong;  Erdmann, Andreas 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/11/28 基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2016/11/25 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口   Fast model for mask spectrum simulation and analysis of mask shadowing effects in extreme ultraviolet lithography 期刊论文 j. micro-nanolithogr. mems moems, 2014, 卷号: 13, 期号: 3, 页码: 33007 作者:  Liu, Xiaolei;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong;  Erdmann, Andreas 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28 extreme ultraviolet lithography  mask model  shadowing effect  pattern shift  critical dimension bias   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/28 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口   Fast model for mask spectrum simulation and analysis of mask shadowing effects in extreme ultraviolet lithography 期刊论文 j. micro-nanolithogr. mems moems, 2014, 卷号: 13, 期号: 3, 页码: 33007 作者:  Liu, Xiaolei;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong;  Erdmann, Andreas 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/28 extreme ultraviolet lithography  mask model  shadowing effect  pattern shift  critical dimension bias   高功率装置中的光束近场研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010 作者:  李小燕 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/11/28 小尺度自聚焦，近场，增益，测量，寄生反射，光束质量，空间分布   Series representation of the Gaussian beam far-field diffracted by annular aperture 期刊论文 optik, 2008, 卷号: 119, 期号: 16, 页码: 766, 768 孙建锋; 刘立人; 云茂金; 万玲玉 收藏  |  浏览/下载：1087/177  |  提交时间：2009/09/18 Apertures  Diffraction theory   部分相干光在星潜激光通信中的传输性质研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007 作者:  鲁伟 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2016/11/28 部分相干光  光学湍流  星-潜激光通信  高斯－谢尔模光束  互谱密度  谱相干度  折射率空间功率谱   涡旋光钛宝石激光器和径向偏振光形成级联纵向电场特性研究 学位论文 作者:  谭诗文 收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2018/12/26 圆柱矢量光束  cylindrical vector beam  涡旋光束  vortex beam  级联纵向电场  cascaded longitudinal electric field  电子加速  electron acceleration  钛宝石激光器  Ti:Al2O3 laser  点缺陷空间滤波  spot-defect spatial filter