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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：电工研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻机投影物镜波像差在线检测关键技术研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1刘克,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2010/10/18 光刻投影物镜  波像差  光学干涉测量  相移点衍射干涉仪  干涉图像处理 lithographic projection optics  wavefront error  optical measurement  phase-shifting point diffraction interferometer  interferogram analysis   高数值孔径光刻中光的传播与成像研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1周远,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：71/0  |  提交时间：2010/10/18 高数值光刻  矢量成像  偏振  TARC  BARC  体效应  干涉光刻 High numerical aperture lithography  Vector imaging  Polarization  TARC  BARC  Bulk effects  Interference lithography   高分辨率成像系统波像差检测中的图像处理技术研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1刘景峰,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/10/18 波像差  相移点衍射干涉仪  Schwarzschild投影物镜  傅立叶变换  干涉图  相位展开 wavefront aberration  phase-shifting point diffraction interferometer(PS/PDI)  Schwarzschild project optics  Fourier-Transform  interferogram  phase unwrapping   混合动力电动汽车用永磁同步电机磁链观测技术研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2007 1高金文,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2010/10/18 电动汽车  永磁电机  磁链观测 HEV,PMSM,flux observer   单相400Hz中频电压源逆变器的输出控制及其并联运行控制 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2006 1谢孟,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/10/18 中频电源，逆变器  输出控制  并联运行  环流   关于交流异步电机全数字矢量控制中死区补偿的研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2002 1张震,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2010/10/18 电动汽车  交流异步电机  逆变器  死区