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科研机构
金属研究所 [1]
内容类型
成果 [1]
发表日期
1992 [1]
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发表日期:1992
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热解氮化硼大口径坩埚及其在半导体工业中的应用
成果
1992
赵凤鸣
;
何宏家
;
夏德谦
;
王勇
;
刘同顺
;
曹福年
;
陈宏毅
;
梁宗俊
;
姜维新
;
朱自明
;
李伟
;
谢自力
;
程其祥
;
隆雅琴
;
陈宏亮
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提交时间:2013/07/24
大尺度
砷化镓
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氮化硼陶瓷
高温陶瓷
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