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科研机构
兰州大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1981 [1]
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发表日期:1981
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SiO_2_Si界面质量的特征性表示及与管芯成品率的关系
期刊论文
半导体技术, 1981, 期号: 6, 页码: 6-13
作者:
李思渊
;
李寿嵩
;
张秀文
;
杨映虎
;
裘会芳
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提交时间:2015/04/27
成品率:5556
管芯:4538
界面质量:3636
SiO_2/Si:3582
界面电荷:2519
抛光:2233
界面态:2176
界面效应:1636
铬离子:1511
固定氧:1198
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