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浏览/检索结果: 共15条，第1-10条 帮助 限定条件 发表日期：2012     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制 期刊论文 光子学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1452-1455 齐克奇; 向阳 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2013/03/11 光刻投影物镜  波像差  相移测量  桥式放大机构  有限元   光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制 期刊论文 长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 46-48+45 齐克奇 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2013/03/11 光刻物镜波像差检测平台  针孔定位  自解耦  有限元方法   光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析 期刊论文 中国光学, 2012, 期号: 05, 页码: 476-484 倪明阳; 巩岩 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2013/03/11 光刻  投影物镜  运动学支撑  柔度  面形   光刻物镜中压电陶瓷驱动器的动态性能研究 期刊论文 光子学报, 2012, 期号: 09, 页码: 1071-1075 王学亮; 巩岩 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/03/11 光刻物镜  压电陶瓷  动态性能   光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析 期刊论文 光学学报, 2012, 期号: 09, 页码: 224-229 赵磊; 巩岩 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2013/03/11 光学器件  光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形   光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析 期刊论文 中国光学, 2012, 期号: 04, 页码: 401-406 孙振; 巩岩 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/03/11 可变光阑  投影物镜  结构设计  有限元分析   193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文 中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232 田伟; 王平; 王汝冬; 王立朋; 隋永新 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2013/03/11 应用光学  193nm光刻  运动学支撑  光学检测  有限元法   一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-07-25 向阳; 齐克奇 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/08/29 一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵阳; 赵磊 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2012/08/29 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13 赵磊; 巩岩; 张巍; 倪明阳 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/08/29