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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2003     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 甚高频等离子体增强化学气相沉积法沉积μc-Si∶H薄膜中氧污染的初步研究 期刊论文 物理学报, 2003, 卷号: 第52卷, 页码: 2865-2869 作者:  杨恢东;  吴春亚;  赵颖;  薛俊明;  耿新华 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/03/01 氢化微晶硅薄膜  甚高频等离子体增强化学气相沉积  氧污染   VHF等离子体光发射谱(OES)的在线监测 期刊论文 物理学报, 2003, 卷号: 第52卷, 页码: 2324-2330 作者:  杨恢东;  吴春亚;  李洪波;  麦耀华;  朱锋 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/03/01 甚高频等离子体化学气相沉积  氢化硅薄膜  光发射谱