| VHF等离子体光发射谱(OES)的在线监测 | |
| 杨恢东; 吴春亚; 李洪波; 麦耀华; 朱锋; 周祯华; 赵颖; 耿新华; 熊绍珍 | |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 2003 | |
| 卷号 | 第52卷页码:2324-2330 |
| 关键词 | 甚高频等离子体化学气相沉积 氢化硅薄膜 光发射谱 |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1889761 |
| 专题 | 南开大学 |
| 作者单位 | 1.东华大学理学院 2.南开大学光电子所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨恢东,吴春亚,李洪波,等. VHF等离子体光发射谱(OES)的在线监测[J]. 物理学报,2003,第52卷:2324-2330. |
| APA | 杨恢东.,吴春亚.,李洪波.,麦耀华.,朱锋.,...&熊绍珍.(2003).VHF等离子体光发射谱(OES)的在线监测.物理学报,第52卷,2324-2330. |
| MLA | 杨恢东,et al."VHF等离子体光发射谱(OES)的在线监测".物理学报 第52卷(2003):2324-2330. |
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