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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A bulk micromachined Si-on-glass Tunneling accelerometer with out-of-plane sensing capability 其他 2007-01-01 Miao, Min; Hu, Qifang; Hao, Yilong; Dong, Haifeng; Wang, Ling; Shi, Yunbo; Shen, Sanmin 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/10 tunneling accelerometer  bulk micromachining  microelectromechanical system (MEMS)  nanoelectromechanical system (NEMS)  inertial technology  high resolution  inductively coupled plasma  PRECISION   A novel out-of-plane MEMS tunneling accelerometer with excellent low frequency resolution 其他 2006-01-01 Dong, Haifeng; Hao, Yilong; Shen, Samnin; He, Lin; Lei, Jungang 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/16 MEMS  tunneling accelerometer  ICP   A novel out-of-plane MEMS tunneling accelerometer 期刊论文 sensors and actuators a physical, 2005 Dong, HF; Jia, YB; Hao, YL; Shen, SM 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 MEMS  tunneling accelerometer  ICP  HIGH-SENSITIVITY   基于阳极键合干法刻蚀技术的MEMS隧道加速度计的加工及测试 期刊论文 半导体学报, 2004 董海峰; 郝一龙; 贾玉斌; 闫桂珍; 王颖; 李婷 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 隧道效应 加速度计 微机电系统 tunneling effect accelerometer MEMS   Fabrication, characterization and failure analysis of a novel MEMS tunneling accelerometer 其他 2004-01-01 Dong, HF; Hao, YL; Jia, YB; Shen, SM; Zhang, WD 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13 tunneling  accelerometer  MEMS (MicroElectroMechanicSystem)  ICP technology  HIGH-SENSITIVITY