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| 机器人气囊抛光SiC光学元件加工特性研究 期刊论文 西安交通大学学报, 2020, 期号: 12, 页码: 9 作者: 黄智; 周涛; 吴湘; 刘海涛; 万勇健 收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2021/05/11
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| 300mm晶圆化学机械抛光机关键技术研究与实现 期刊论文 2016, 2016 王同庆; 路新春; 赵德文; 门延武; 何永勇; WANG Tongqing; LU Xinchun; ZHAO Dewen; MEN Yanwu; HE Yongyong 收藏  |  浏览/下载:7/0 |
| 应力盘及辅助刚性保形抛光头误差去除机理研究 学位论文 2016 作者: 赵璞 收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2019/12/02
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| 低摆动瞬心式抛光头 期刊论文 机械工程师, 2016, 页码: 107-108 作者: 戴智弘 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/09
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| 大口径双面抛光机床垂直进给精密平面抛光头结构设计 学位论文 2014 作者: 周海刚 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/02
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| 300mm硅片化学机械抛光设备及其关键技术研究 学位论文 : 大连理工大学, 2010 作者: 王彩玲 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/18
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| 磁流变抛光头形状对加工表面粗糙度的影响 期刊论文 湖南大学学报(自然科学版), 2010, 卷号: 第37卷 第1期, 页码: 45-48 作者: 尹韶辉,陈越,王宇,朱科军,胡天,范玉峰,朱勇建 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2020/01/05
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| 大理石抛光用磨头的生产技术(系列磨头生产技术) 成果 0 主要完成人: 华南理工大学 收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2019/04/08
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