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机器人气囊抛光SiC光学元件加工特性研究 期刊论文
西安交通大学学报, 2020, 期号: 12, 页码: 9
作者:  黄智;  周涛;  吴湘;  刘海涛;  万勇健
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300mm晶圆化学机械抛光机关键技术研究与实现 期刊论文
2016, 2016
王同庆; 路新春; 赵德文; 门延武; 何永勇; WANG Tongqing; LU Xinchun; ZHAO Dewen; MEN Yanwu; HE Yongyong
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应力盘及辅助刚性保形抛光头误差去除机理研究 学位论文
2016
作者:  赵璞
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低摆动瞬心式抛光头 期刊论文
机械工程师, 2016, 页码: 107-108
作者:  戴智弘
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大口径双面抛光机床垂直进给精密平面抛光头结构设计 学位论文
2014
作者:  周海刚
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300mm硅片化学机械抛光设备及其关键技术研究 学位论文
: 大连理工大学, 2010
作者:  王彩玲
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磁流变抛光头形状对加工表面粗糙度的影响 期刊论文
湖南大学学报(自然科学版), 2010, 卷号: 第37卷 第1期, 页码: 45-48
作者:  尹韶辉,陈越,王宇,朱科军,胡天,范玉峰,朱勇建
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大理石抛光用磨头的生产技术(系列磨头生产技术) 成果
0
主要完成人:  华南理工大学
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