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双频容性耦合Ar放电驻波效应实验研究:低频源的影响 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者:  赵凯;  李永新;  王友年
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双频容性耦合等离子体源放电特性研究 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者:  刘仕维;  姜楠;  鲁娜;  商克峰
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