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科研机构
大连理工大学 [2]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2017 [2]
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双频容性耦合Ar放电驻波效应实验研究:低频源的影响
会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者:
赵凯
;
李永新
;
王友年
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提交时间:2019/12/02
双频容性耦合等离子体源
甚高频
驻波效应
均匀性
相分辨发射光谱
双频容性耦合等离子体源放电特性研究
会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者:
刘仕维
;
姜楠
;
鲁娜
;
商克峰
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提交时间:2019/12/02
等离子体
双频容性耦合等离子体源
介质阻挡放电
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