| 双频容性耦合Ar放电驻波效应实验研究:低频源的影响 | |
| 赵凯; 李永新; 王友年 | |
| 2017 | |
| 会议名称 | 第十八届全国等离子体科学技术会议 |
| 会议日期 | 2017-07-01 |
| 会议地点 | 中国陕西西安 |
| 关键词 | 双频容性耦合等离子体源 甚高频 驻波效应 均匀性 相分辨发射光谱 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 第十八届全国等离子体科学技术会议
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| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3290697 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学物理与光电工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵凯,李永新,王友年. 双频容性耦合Ar放电驻波效应实验研究:低频源的影响[C]. 见:第十八届全国等离子体科学技术会议. 中国陕西西安. 2017-07-01. |
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