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一种颗粒物-水界面水质参数原位测量系统 专利
专利号: CN108572126A, 申请日期: 2018-09-25, 公开日期: 2018-09-25
作者:  曲久辉;  况亮;  刘会娟;  马百文;  威廉艾伦·杰斐逊
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4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2607-2613
作者:  胡海飞;  赵宏伟;  刘振宇;  罗霄;  张学军
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2018/04/09
基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术 期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 85, 90
施伟杰; 王向朝; 张冬青; 王帆
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基于镜像焦面检测对准标记的套刻性能原位测量技术 期刊论文
光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 398, 402
施伟杰; 王向朝; 张冬青; 马明英; 王帆
收藏  |  浏览/下载:922/142  |  提交时间:2009/09/18
光刻机投影物镜的像差原位检测新技术 期刊论文
光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 679, 684
张冬青; 王向朝; 施伟杰; 王帆
收藏  |  浏览/下载:1463/131  |  提交时间:2009/09/18


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