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期刊论文 [4]
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一种颗粒物-水界面水质参数原位测量系统
专利
专利号: CN108572126A, 申请日期: 2018-09-25, 公开日期: 2018-09-25
作者:
曲久辉
;
况亮
;
刘会娟
;
马百文
;
威廉艾伦·杰斐逊
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/11/27
1.一种颗粒物#水界面水质参数原位观测系统,其特征在于,所述系统包含样品平台单元、光学显示单元、微电极操作单元、数据采集显示单元和光学防震平台
所述样品平台单元为一用于盛放待测样品的反应容器,所述反应容器的一侧由两块同宽不同高的超薄玻璃叠加而成,较低的玻璃位于反应容器内侧,较低的玻璃上沿形成颗粒物的沉降平台
所述光学显示单元为一具有暗场工作模式的显微镜
所述微电极操作单元包括微电极和微电极位移控制系统
所述数据采集显示单元包括与微电极对应的参比电极,以及与参比电极连接的检测器和计算机。
4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统
期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2607-2613
作者:
胡海飞
;
赵宏伟
;
刘振宇
;
罗霄
;
张学军
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2018/04/09
超大sic反射镜
原位光学检测
静压支撑系统
刚度差异
面形精度
基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 85, 90
施伟杰
;
王向朝
;
张冬青
;
王帆
收藏
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浏览/下载:1357/170
  |  
提交时间:2009/09/18
激光技术
焦深
光学对准
投影光刻机
原位检测
基于镜像焦面检测对准标记的套刻性能原位测量技术
期刊论文
光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 398, 402
施伟杰
;
王向朝
;
张冬青
;
马明英
;
王帆
收藏
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浏览/下载:922/142
  |  
提交时间:2009/09/18
光学测量
原位检测
套刻性能
光刻机
焦面检测对准标记
光刻机投影物镜的像差原位检测新技术
期刊论文
光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 679, 684
张冬青
;
王向朝
;
施伟杰
;
王帆
收藏
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浏览/下载:1463/131
  |  
提交时间:2009/09/18
信息光学
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投影物镜
光刻机
原位检测
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