4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统

doi:646703BEF90129B4973235EFBE385097

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	4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统
	胡海飞; 赵宏伟; 刘振宇; 罗霄; 张学军
刊名	光学精密工程
	2017-10-15
页码	2607-2613
关键词	超大sic反射镜原位光学检测静压支撑系统刚度差异面形精度
DOI	646703BEF90129B4973235EFBE385097
英文摘要	研制了一套用于4m SiC反射镜原位检测的静压支撑系统,以降低超大口径SiC反射镜离线检测的风险,提高其制造效率。首先,推导了单元刚度的解析式,确定了其中关键因素;然后,对支撑单元进行抽样测试,结合解析式预测了支撑群组中单元的工作刚度。最后,通过密封性测试和反射镜原位检测,验证了支撑系统的稳定性;通过有限元模拟,计算了系统的重力卸载面形精度。结果表明:5个单元连组时,单元刚度约为1.9kN/mm,刚度值分布在±3%误差区间;独立单元刚度可高至15kN/mm;3种分组单元刚度预测值分别为1.7,1.1和0.8kN/mm。支撑系统空载时管路压强变化缓慢,表明密封性良好;用该系统支撑4m反射镜时,11天内高度绝对变化量小于50μm,相对变化量小于20μm。54个单元刚度随机分布时,镜面面形高阶残差(RMS)为20nm。提出的系统基本满足原位检测的稳定性和精度要求。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58688]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	胡海飞,赵宏伟,刘振宇,等. 4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统[J]. 光学精密工程,2017:2607-2613.
APA	胡海飞,赵宏伟,刘振宇,罗霄,&张学军.(2017).4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统.光学精密工程,2607-2613.
MLA	胡海飞,et al."4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统".光学精密工程 (2017):2607-2613.